Die Anwendung von Mikroskopen in der Halbleiterindustrie

Die Halbleiterindustrie ist eine der präzisesten und anspruchsvollsten Branchen der modernen Technologie. Mikroskope spielen hierbei eine Schlüsselrolle, da sie es ermöglichen, winzige Strukturen zu inspizieren, zu analysieren und zu optimieren. Von der Entwicklung neuer Halbleitertechnologien bis zur Massenproduktion sind Mikroskope unverzichtbar, um die Qualität und Funktionalität der hergestellten Produkte sicherzustellen.
Optische Mikroskope werden vor allem für die Erstinspektion und allgemeine Qualitätssicherung eingesetzt. Sie eignen sich, um Defekte wie Kratzer, Partikel oder Verunreinigungen auf der Oberfläche von Wafern zu identifizieren. Aufgrund ihrer begrenzten Auflösung sind sie jedoch für die Analyse submikroskopischer Strukturen nur bedingt geeignet.

(Foto von @xb100)